Máy rút tiền cơ học đầu tiên được phát triển và chế tạo bởi Luther George simjian và được lắp đặt vào năm 1939 tại thành phố New York bởi ngân hàng thành phố New York, nhưng bị loại bỏ sau 6 tháng do thiếu sự chấp nhận của khách hàng.
Sau đó, lịch sử của các máy ATM bị tạm dừng trong hơn 25 năm, cho đến khi de la Rue phát triển máy atm điện tử đầu tiên, được lắp đặt đầu tiên tại enfield Town ở Bắc London, vương quốc Anh vào ngày 27 tháng 6 năm 1967 bởi ngân hàng barclays. Trường hợp phát minh này được ghi nhận cho John Shepherd-Barron, mặc dù nhiều kỹ sư khác đã được trao bằng sáng chế cho các công nghệ liên quan vào thời điểm đó. Shepherd-Barron đã được trao giải OBE trong danh sách danh dự năm mới 2005. Người đầu tiên sử dụng máy là nghệ sĩ và diễn viên tạp kỹ người anh Reg varney. Các máy atm đầu tiên chỉ chấp nhận một mã thông báo hoặc phiếu mua hàng sử dụng một lần, được máy giữ lại. Chúng hoạt động dựa trên các nguyên tắc khác nhau bao gồm bức xạ và từ tính có độ cưỡng chế thấp đã bị đầu đọc thẻ xóa sạch để làm cho việc gian lận trở nên khó khăn hơn. Máy phát hành bao bì đóng gói sẵn có chứa 10 pound Sterling. Ý tưởng về một chiếc ghim được lưu trữ trên thẻ được phát triển bởi kỹ sư người anh James goodfellow vào năm 1965.
Vào năm 1968, máy ATM được nối mạng đã đi tiên phong ở Dallas, Texas, bởi Donald wetzel, người đứng đầu bộ phận tại một công ty Xử Lý Hành lý tự động có tên docutel. Năm 1995, Bảo tàng Lịch Sử Quốc gia Hoa Kỳ của Smithsonian đã công nhận docutel và wetzel là người phát minh ra máy atm được nối mạng.
Máy ATM lần đầu tiên được sử dụng rộng rãi tại Vương quốc Anh vào năm 1973; IBM 2984 được thiết kế theo yêu cầu của ngân hàng lloyds. Cit 2984 (thiết bị đầu cuối phát hành tiền mặt) là điểm tiền mặt thực sự đầu tiên, tương tự như các máy móc ngày nay; cashpoint vẫn là nhãn hiệu đã đăng ký của lloyds TSB ở Anh tất cả đều trực tuyến và được phát hành một số tiền thay đổi ngay lập tức được khấu trừ vào tài khoản. Một số lượng nhỏ những năm 2984 đã được cung cấp cho một ngân hàng Hoa Kỳ. Các mẫu máy ATM Lịch Sử đáng chú ý bao gồm Dòng Ibm 3624 và 473x, dòng diebold 10xx và Tab 9000 và dòng NCR 5xxx.